净化工程乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。实际上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1、确的尺寸控制都是很关键的。另外若系统停止运转再激1活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

光学微电子净化工程解决方案:

2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+高1效送风口

缺点：

　　A.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;

　　B.空调机组与空调处理机组要集中布置;

　　C.造价较低。特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

　　3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口

　　这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

净化工程中空气净化处理方案：

　　净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高1效空气过滤器代高1效空气过滤器。

　　空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;高1效空气过滤器或亚高1效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高1效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换;中效、亚高1效、高1效空气过滤器宜按额定风量选用;阻力、效率相近的高1效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。净化工程防静电：洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。