无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；除此之外，这类型的实验后洗净程序与我们在许多方面对现代日常生活对于微生物的预防措施皆相同(例如:用抗1菌肥皂洗涤一个人的手，以消1毒剂清洗实验室的所有暴露表面等)类似。（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

影响无尘车间的气流因素很多，如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；这里暂不讨论无尘车间管道内及空调器内的高1效过滤器检漏，只对安装在无尘车间终端及相关净化设备内的高1效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

无尘车间内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少至低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

      高1效过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行，同时建议在无尘车间风量平衡及正负压调试以后进行，新建成的无尘车间或更换终端高1效过滤器后均应作检漏测试。

   《洁净室施工及验收规范》（下简称规范）第 3.4.4条，有“经检查和检漏合格的应立即安装”，指现场检漏合格以后，再安装高1效过滤器，事实上很难具备这样的检漏条件。不可能做到，而根据规范附录六的要求是安装后进行高1效过滤器的扫描法检漏。

    检漏时，从高1效过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在高1效过滤器的下风侧进行扫描检漏，以检漏高1效过滤器的过滤介质，密封胶过滤器框架，密封垫片等处有无泄漏。

    这里暂不讨论无尘车间管道内及空调器内的高1效过滤器检漏，只对安装在无尘车间终端及相关净化设备内的高1效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。

      无尘车间室内将冷发雾方法产生的多分散相气溶胶引入高1效过滤器的上风侧空气中。使其达到需要的气溶胶浓度。规范上要求以大于或等于 0.5μm 的微粒为准。气溶胶的材料有 DOP（邻苯二甲酸二辛酯）、PAO（聚乙烯烃）、DOS（葵二酸二辛酯）等，这些气溶胶的检漏原理是一样的。四、造成环境污染：众所周知，环境污染主要是由于工业污染造成的。

   洁净室（无尘车间）规范上要求高1效过滤器上风侧的微粒浓度（≥0.5μm）必须大于或等于 3.5×104 粒子 /L。事实上，在空调器内发尘，过滤器上风侧的浓度较难达到要求，必须导入足够数量的气溶胶，且长时间地发尘将会影响高1效过滤器的使用寿命。所以，高1效过滤器的检漏，在高1效过滤器送风口的静压箱内发尘为首1选，不具备条件的，也可以考虑在无尘车间送风管上导入DOP 的气溶胶。万级无尘车间施工方案：1)无尘车间的彩钢板天花部分：洁净区域用双面彩钢板,颜色用灰白，厚50mm夹芯。1