无尘室操作时的一般规定:
1.处理芯片时,必须戴上无纤维手套,使用清洗过的干净镊子挟持芯片,请勿以手指或其它任何东西接触芯片,遭碰触污染过的芯片须经清洗,方得继续使用:
(1)任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过,或是镊子掉落地上,必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。
(2)芯片清洗后进行下一程序前,若被手指碰触过,必须重新清洗。
(3)把芯片放置于石英舟上,准备进炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染,必须将芯片重新清洗,并立即更换干净的镊子使用。
2.芯片必须放置盒中,盖起来存放于规***置,尽可能不让它暴露。
3.避免在芯片上谈话,以防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请特别注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,用氮******喷之。
4.从铁弗龙(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等载具(Carrier)上,取出芯片时,必须垂直向上挟起,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。
一、通常以下因素务必充分考虑:(1)、更衣屋子的设定:将更衣的差异环节用屋子进行分离,如按脱鞋(脱外套)、穿清洁衣(穿无菌检测內衣、无菌检测外套)、气锁(洗手消毒、手消毒)等分好多个屋子。一间气锁,具有防护更衣区和厂区气旋的***。(2)、更衣的等级分类:新版本GMP净化车间规定“更衣后半段的静态数据级别与其说相对应洁净区的清洁级别一致”。而更衣的后半段,指的是穿清洁衣(穿无菌检测外套)及之后的气锁,这种区域的清洁级别与其说服务项目的厂区级别一致。而更衣前半段区域,做为净化处理更衣的协助区,需送进通过HEPA过滤装置过虑的气体、有一定的换风次数,有一定的渗透压力,但归属于不等级分类区。(3)、更衣区的压差值:更衣区域做为工作人员出入清洁厂区的安全通道,其压差(气旋方位)基本上从级别较高区域向级别较低区域流动性。各邻近气锁屋子中间的压差以5Pa为宜,那样总计后,洁净区和非洁净区中间的压差不容易过高。只需将不一样洁净区域及其清洁和非洁净区中间的压差操纵在超过10Pa就可以,如压差很大,会导致气体根据门框***量的扩大,与此同时对工程建筑装修隔断的抗压强度规定也需要扩大。
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