清洁规定：（1）清理洁净室内的墙时应应用洁净室无尘擦拭布；（2）用90％去离子水和10％的配备清洁液；（3）应用已获准许的洁净室除污剂；（4）每日都要查验车间和储备间的垃圾桶，并立即清走。（5）每片木地板都要吸尘。每一次交班时，都应在地图上标出工作中进行状况，例如在哪儿完毕从哪逐渐。（6）清理洁净室的路面应应用拖布。（7）在洁净室里吸尘应应用含有送风口的真空泵吸尘器。（8）全部的门都必须查验并擦拭

洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

5.芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

6.操作时，不论是否戴上手套，手能放进清洗水槽。

7.使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。

8.摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。

9.请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。

10.手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。

11.非经指示，可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

12.奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。

13.仪器因操作错误而有任何损坏时，务必立刻告知负责人员或老师。

14.芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。

15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入

化妆品、食品生产的洁净室要求

现代化妆品中大多含有蛋白质、***、氨基酸、植物萃取液等，这些组分为***、霉菌等微生物的滋生、繁殖提供了有利条件。因此，微生物的污染是影响化妆品质量的重要因素。化妆品生产过程中使用的洁净室的控制对象主要是尘粒、微生物，与***生产用的洁净室要求类似。目前，化妆品生产用洁净室的空气洁净度等级可参照***的GMP规范进行。

在食品工厂的生产过程中，设施的严格管理是确保食品的安全卫生，防止发生由于病原大肠菌、沙门氏菌造成的食品或饮料中混入霉菌等的重要手段。20世纪90年代至今，WHO及一些发达***引入HA***（危害分析***控制点）系统，制定了利用卫生管理生产过程的食品生产承认制度。