净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。5、洁净层流***室的内部平面和通道形式应做到便于疏散、功能流程短捷和洁污分明的原则，布置原则遵循尽端布置，中心布置和侧向布置及环状布置等形式。

1、组合式空气处理机组+冷水机组+送风口

这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。

优点：

A.空气处理效果好，因空气经过集中处理，在送风过程中被污染程度较低。

B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;

C.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或***冷热源;

D.维修频率较低;

E.车间的噪音低。

缺点：

A.需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房，如25000m3/h的组合式空气处理机组，常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。它每秒钟输出几十亿个杀菌离子，弥没在***室,ICU病房的空气中，迅速包围和杀灭空气中的各种微生物，可轻松创造空气微生物为“零”的生物洁净环境。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30┫的机房的;

B.造价高。

特点：

A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担;

B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。

通过对比研究洁净***部Ⅲ级洁净***问不同空气洁净时间,选择连台***理想的开台时间.方法 选择Ⅲ级洁净***问一台清洁***结束后应用净化空凋进行清洁净化,在清洁前和净化后15min、30min、45min三个时间段采用激光尘埃粒子计数 器监测点进行尘埃微粒数监测.结果 清洁前0.5μm微粒超过标准.而清洁15min后微粒数已降到标准要求.分别对O.5μm、1.0μm、2.0μm三个级别微粒清洁前、清洁后 15min、30min、45min间进行方差分析,结果显示有统计学意义(P＜0.01);经多重比较清洁后15min、30min、 45min与清洁前比较,差异均有统计学意义(均P＜0.01),而清洁15min后各时间点比较,差异无统计学意义(均P＞0.05).结论 ***结束后***问净化15min即可进行连台***,这样既不影响净化效果,同时也达到了***的使用,减少资源浪费和提高工作效率.

***室净化

技术图纸应说明冬夏二季及过渡季节***部空调冷热负荷及用电，用水要求。

空调系统所用冷热源全部由需方提供，并将空调水管道敷设至设备层净化机组2米处，其后的管道由中标方连接。

气体管红及终端设计要求

万级***室的墙壁及吊臂上均各设一组气体终端，其中一种为备用，每组四气(氧气、负压吸引、压缩空气、)，醉废气排放每间***室只需在吊塔上设置；如今的空气质量严重下降，对于我们来说，***室是需要一个十分良好的空气要求，而空气净化设备也就成为了净化***室空气的一个重要关键。其他***室墙壁上设有组气体终端，一备一用，每组四气(氧气、负压吸引、压缩空气、)，配备氧气切断装置，气体终端采用进口件，必须操作方便，接口不具有互换性。