什么是蚀刻机

或许在很多人看来，刻蚀技术并不如光刻机那般“”，但刻蚀在芯片的加工和生产过程中同样不可或缺。刻蚀机主要工作是按照前段光刻机“描绘”出来的线路来对晶片进行更深入的微观雕刻，刻出沟槽或接触孔，然后除去表面的光刻胶，从而形成刻蚀线路图案。

在芯片制造领域，光刻机像是前端，而蚀刻机就是后端。光刻机的作用是把电路图描绘至覆盖有光刻胶的硅片上，而蚀刻机的作用就是按照光刻机描绘的电路图把硅片上其它不需要的光刻胶腐蚀去除，完成电路图的雕刻转移至硅片表面。两者一个是设计者，一个是执行者，整个芯片生产过程中，需要重复使用两种设备，直至将完整的电路图蚀刻到硅晶圆上为止。

目前，我国在蚀刻机领域已达到世界***水平，尤其是中微半导体成功突破研制的5nm蚀刻机已于其它企业，而且得到了台积电的验证。真正面临技术挑战，也是被卡脖子的领域是光刻机。不过日前中科院院长白春礼表示，已将光刻机等技术难度较高的产品列入科研清单，未来将集中力量对这些“卡脖子”的技术进行攻关。相信未来光刻机技术也会实现重大突破。

只要亲自操作过，就会知道蚀刻机在使用的过程中，要注意的问题非常多，虽然现在已经推出了自动化的型号，但是仍然有不能忽视的关键问题，比如很多朋友就想要知道该设备是否可以接触具有腐蚀性的化学物质，接触之后还能不能正常运行，马上进行了解。    1、要选对型号    蚀刻机的型号通常有化学以及电解两种，其中化学型号就能够接触溶液，并且它还是通过化学溶液来起到蚀刻效果的，产生化学反应之后，很快就能完成工作，但是需要定期清洗设备，才能减少污垢残留或是堵塞的问题出现，朋友们需要稍加注意。    2、电解型号污染更少    虽然化学蚀刻机可以完成工作，但是化学溶液对环境的危害还是比较大的，如今很多行业已经不再使用这种型号的设备了，反而会选择电解型号，虽然它存在蚀刻面不够均匀等问题，但是却具备了无污染的优点，更符合现如今的环保理念。    弄清楚是怎么一回事之后，就会知道合适的蚀刻机型号完全可以接触化学液体了，所以朋友们不必担心腐蚀之类的情况，如果人手并不是很多，或是工作比较忙碌，还可以选择自动化的型号，免去了不必要的麻烦，也能够加快蚀刻的效率。

蚀刻设备的选择

不管采用什么样的蚀刻方法，都少不了与之配套的蚀刻设备，对于喷淋式蚀刻，需要购买合适的蚀刻机，蚀刻机传输式的蚀刻机也有非传输式喷射蚀刻机，传输式蚀刻机适用于批量生产，非传输式喷射蚀刻机适用于中小规模的生产，这种类型的蚀刻机一般都难以自制，而必须去设备厂定做或者在设备市场购买，蚀刻机选择的原则主要由生产量决定，这里所指的生产量是指可以预计一段时间内的平均日产量。

如果采用浸泡式蚀刻就需要一定体积的蚀刻槽，蚀刻槽体的材料根据蚀刻液的性质而定，对于碱性蚀刻，大多采用不锈钢材料，并要注意有保温装置，对于酸性蚀刻体系，可采用 PP材质制作，对于大型的蚀刻槽可以采用不锈钢加内衬软PP材料制作。