国内生产刻蚀机水平高的企业为中微半导体设备（上海）有限公司（这家同样是有国资背景的企业，前两大股东也是国有企业，所以有人说我国光刻机没发展起来是因为国企的原因，这是不对的，中微半导体也可以说是国企，但是刻蚀机的技术水平是世界水平的。国内刻蚀机的发展离不开尹志尧为代表的几十位海归技术。尹志尧曾经担任应用材料的公司副总裁（应用材料是半导体设备厂商老大），参与***几代等离子体刻蚀设备的开发，在美国工作时就持有86项。2004年回来之后，***牵头设立了中微半导体公司，尹志尧等人重新投入研发刻蚀机，仅仅用了3年的时间就做出了世界的刻蚀机，为此美国人无法接受，还起诉了中微半导体侵权，但是终的验证结果是没有任何的侵权。（这才是中微半导体比上海微电子发展快的原因，毕竟上海微电子的没有人才在荷兰的A***L工作过，也许正是因为这件事，所以美国现在禁止A***L招聘中国的员工）。我国的刻蚀机技术位于，中微半导体的介质刻蚀机赢进入台积电7nm、10nm的生产线，中微半导体的刻蚀机制造工艺达到了5nm，已经通过了台积电的验证




等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction pla***a）。

在次蚀刻机行业组成的生产效率低、 缺乏资金，慢慢导致业务发展停滞不前。但人很坚强，不远。试着去学习生产技术和***的生产技术，设备升级的外国精英厂家则是一步一步走，把开发新技术产品。蚀刻机在中国几十年，许多制造商下滑的时期。跟着时代的潮流走在前面，努力实现可持续的、 长期的、 稳定的发展模式。

当今社会，竞争激烈，人才，山比山情况使人们更加意识到的生存压力。也是真正之间所有各界以及蚀刻机行业，竞争是的词，也是业界的热门话题。生存是需要发展，创新的新产品，以保持在位置来赢得市场的关键。

蚀刻机产业发展的***仍然必须取决于支持大型制造商，带领，相信蚀刻机前途是光明的。创新的时候，这是一种的血液。***研究与开发的新产品、 创新和的生产工艺是的。符合现代社会的发展，要求生产厂家跟上步伐，提高生产率的他们的技术需求。结合国外***的生产技术经验，找到合适的机会。