真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶液造成污染，适合用干式真空泵；

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

六、给真空泵加油的时候一定是的设备，不能是其他真空泵油用过的容器或者溶剂。七、酯油和矿物油或者其他合成油在互换时，要把真空泵拆开然后洗干净。八、要是吸入化学气体及溶剂，对真空泵油污染影响真空后，就一定要清洗换油。

1、活塞式真空泵(W型)运用普通的机油即可，用V100、V150粘度等级的油品。

2、旋片式真空泵(2X型)选用V68、V100粘度等级油品。

在所有的普旭真空泵油型号中，常见的就是VM100和普旭真空泵油VE101，很多客户在不了解的情况下，都会很奇怪，为什么VE101要比VM100贵很多呢？和VM100有什么区别呢？

特别提示： VM100是矿物油/VE101是合成油

两者是完整不同类型的真空泵润滑油，两者成本造价是不一样的。VM100适合使用于真空度要求不是很高的行业，比如吸塑行业、VE101适合高真空度的行业，比如食品包装，制药行业等等。