真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶液造成污染，适合用干式真空泵；

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

极低的蒸气压

这是真空泵油的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

良好的抗腐蚀性和抗乳化性

真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件;吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。

较高的闪点

主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。

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