真空泵操作须知,需要注意哪些问题呢?
1.极限真空不高及其消除 (1) 油位太低,有较大排气声,可加入清洁的真空泵油。(2) 泵油为可凝性蒸汽所污染,可开气镇净化或更换新油。(3) 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时,有大排气声,排气口有气排出,应找出漏气部位,进行消除。(4) 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当,损坏或老化,应调整或更换。(5) 进油咀油孔堵塞,可拔出进油咀,疏通油孔。而从真空泵性能方面则能够注意到,极限压强往往是非常重要的一个指数,和实际工作过程中产生的压力指数有着非常密切的关系。(6) 真空系统严重污染,包括容器、管道等,应予清洗。(7) 旋片弹簧折断,应予调换。(8) 旋片、泵身或盖磨损,间隙过大,应进行检查,修整或调换。(9) 泵温过高,应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高,应予先冷却后再进入泵内。
2.喷油 (1) 油位过高,可入出多余油量。(2) 减雾器中有泵油或杂物,应清除。
3.漏油 放油螺塞,油箱垫片损坏或装配不当,螺钉拧紧;油标未拧紧,有机玻璃过热变形;泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好;油封装配不当或磨损;应予调整或更换。
4.噪声 (1) 旋片弹簧折断,可调换弹簧。(2) 有毛刺、脏物或变形,运转发生障碍,应检查修磨清洗。(3) 轴承磨损,零件磨损。应修整或更换。(4) 电机出毛病,应进行检查。
5.返油 (1) 止回阀未关好,停泵后,油位很快下降,可再开再停,观察变化或拆开检查。(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损,可进行调换。(3) 泵盖或泵身平面不平整,可进行修整。(4) 排气阀片损坏,应进行调换。
真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。5、一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。4、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
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