压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成,按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。
表压传感器、差压传感器和绝压传感器都是依据大气压而言的,表压就是表面压力,普通压力表测量的就是表压,绝压就是物体的表压加上大气压,而差压就是两个压力之前的相对差值,广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑等众多行业。
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以压电效应为工作原理的压力传感器,是机电转化式和自发电式传感器,它的灵敏元件是用压电的资料制作而成的,而当压电资料遭到外力作用的时候,它的表面会形成电荷,电荷会通过电荷放大器、丈量电路的放大以及改换阻抗今后,就会被转化成为与所遭到的外力成正比关系的电量输出,它是用来丈量力以及可以转化成为力的非电物理量。1、防止渣滓在导管内沉积和传感器与腐蚀性或过热的介质接触,导压管应安装在温度波动小的地方。
该传感器有许多优点:分量较轻、工作可靠、结构很简单、信噪比很高、灵敏度很高以及信频宽等,但是它也存在着某些缺点:有部分电压资料忌湿润,因此需求采取一系列的防潮措施,而输出电流的响应又比较差,那就要使用电荷放大器或者高输入阻抗电路来弥补这个缺点,让仪器更好地工作。1、变送器输出信号不稳:这种毛病有肯是压力源的问题,压力源本身是一个不稳定的压力,很有可能是仪表或压力传感器抗干扰才能不强、传感器本身振动很厉害和传感器毛病。
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SOI高温压力传感器的发展首要依托SOI资料的兴起,SOI即绝缘体上硅,首要指以SiO2为绝缘层预埋在Si衬底层和Si顶层器材层中心形成的半导体资料,SOI的特别结构使得器材层与衬底层之间实现了绝缘,消除了体硅中常见的门闩效应,提高了器材的可靠性,另外因为SOI器材层的高温特性使得其成为制备高温压力传感器的抱负资料。6、购买任何一个测量产品我们都要考虑其精度的问题,因为精度会影响其测量的结果。
从原理上讲,SOI高温压力传感器首要使用的是单晶硅的压阻效应,当力作用于硅晶体上,晶体的晶格发生形变,从而导致载流子的迁移率发生变化,使得硅晶体的电阻率发生变化,通过在SOI顶层器材层的特定方向刻蚀出4个压敏电阻,构成惠斯通电桥,在SOI的衬底层刻蚀出压力背腔,从而形成压力敏感结构。真空膜盒式进气压力传感器又称为膜盒测压器,该传感器在燃油喷射系统中用于测量进气管的进气压力,并提供给ECU作为燃油喷射与点火控制的主信号。
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