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作者:安徽强源2021/11/9 0:56:39






复合气体检测仪使用方法

便携式复合气体检测仪,又称为多种气体检测仪就是我们密闭空气体检测仪类型蕞好的选择。这种检测仪可以在一台主机上配备所需的多个气体(无机/有机)检测传感器,同时它具有体积小、重量轻、相应快、同时多气体浓度显示的特点。更重要的是,复合式气体检测仪的价格要比多个单一扩散式气体检测仪加起来便宜一些,使用起来也更加方便。

复合气体检测仪使用方法

1、确定检测位置;

2、打开复合气体检测仪电源,待检测仪自检及预热完成进入检测状态后,将探头置于待检测气体浓度的区域;

3、将气体检测仪显示区显示测量到的气体浓度做好记录;

4、根据测量结果,依据相关应急预案做好处理。





高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。



常常有客户认为高纯气体或是符合使用标准的气体就是标准气体了,其实不然,气体行业中把这样的气体才称之为标准气体! 标准气体其实是一种高度均匀、稳定性良好和量值准确的气体。标准气体当然可以是单一的纯气或高纯气体,也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。 标准气体之所以被称为标准气体,主要是因为它用于校准仪器、仪表、评价测量方法、计量标准传递和量值仲裁等。它们具有复现、保存和传递量值的基本作用。



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