氦质谱检漏方式 氦质谱检漏技术性是真空泵检漏行业里必不可少的一种技术性，因为检漏***率，简单易实际操作，仪器设备反映灵巧，高精度，不容易受别的气体的干挠，在电阻炉检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏仪是依据质谱学基本原理，用氦气作示漏气体做成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、采l集器、冷阴极弱电解质规构成的质谱室和抽真空系统软件及电气设备一部分等构成。质谱房内的灯丝发射点出去的电子器件，在房间内往返地l震荡，并与房间内气体和经标准孔板进到房间内的氦气互相撞击使其弱电解质成正离子，这种氦电离在加快静电场***下进到电磁场，因为洛伦兹力***造成偏移，产生圆弧状路轨，更改加快工作电压可让不一样品质的电离根据电磁场和接受缝抵达接受极而被检验。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中l常见的二种方式 。