行业概况

硅基类薄膜太阳能电池设备：***提高大面积沉积的均匀性，进一步提升设备运行的稳定性，电子元器件，适度提升自动化程度，提高生产效率。

（CdTe）薄膜太阳能电池设备：突破真空镀膜设备技术难点，电子，研发新型升华源的结构，进一步提高温度均匀性，开发在高温、真空环境下的传动系统。

（CIGS）薄膜太阳能电池设备：突破真空镀膜设备、材料溅射、硒化技术等技术难点，实现元素配比的控制，保证大面积沉积的均匀性，提高生产效率，降低制造成本。实现0.7平方米以上、电池转化效率达14%以上的CIGS整线设备集成。

行业概况

中小尺寸有机发光显示（OLED）生产设备研发及产业化

解决无源有机发光显示（PM-OLED）用有机蒸镀和封装等关键设备大面积化和低成本化等问题，***发展蒸发源、掩模对位、玻璃和掩模板固定装置等设备，进一步提高生产效率。

开展中小尺寸有源有机发光显示（AM-OLED）产品生产工艺和制造设备研发，突破溅镀台、PECVD系统、热蒸发系统等AM-OLED用的薄膜晶体管（TFT）薄膜沉积装备；涂胶机、***机、干湿法刻蚀机等AM-OLED用的TFT图形制作装备；退火炉、退火气体管道、激光退火设备等AM-OLED用TFT退火装备；TFT电学测试设备、OLED光学测试设备等AM-OLED用检测装备；AM-OLED用缺陷检测修补装备，如激光修补机等。

加大投入力度，元器件，支持技术创新充分发挥***科技重大专项、电子信息产业发展等引导作用，以多种形式支持电子专用设备仪器行业技术创新，***支持战略意义大、技术难度高、市场前景广、带动作用强、发展基础好的关键电子专用设备仪器发展。

推动落实《首台(套)重大技术装备试验示范项目管理办法》，鼓励支持集成电路关键设备、新型平板显示器生产设备、电子元器件生产设备、无铅工艺的整机装联设备自主创新，为首台（套）重大电子专用设备应用创造良好条件。

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