1、技术性能： 1.1 原料气指标：液氮或瓶装氮，其中O2 ≤ 100PPm， 输入压力 > 1.5MPa 1.2 净化原指标：O2 ≤ 0.5PPm、CO2 ≤ 0.5PPm、H2 ≤0.5PPm *** ≤ -76℃、尘埃 ≤ 1 µm 输出压力：（0 ～ 0.5MPa）任意调节 1.3 处***量： 1 ～ 500Nm3/h 2、特点： 2.1 设备工作压力的提升，大大提高了净化能力和净化后产品气的指标。 2.2 设备体积减小，降低了水电能耗。 2.3 再生气用量小，减少了气体的耗换损。