一个真空系统（或容器）要求做到不漏气是不现实的，也是没有必要的，所以就要根据真空系统实际应用的具体条件，对漏率指标提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足够小，使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强，这些漏孔就是允许的。真空查漏方案正常工作所能允许的做大漏气量，称ui大允许漏率，简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标，也是检漏的依据。然后在真空系统可能存在漏点位置逐一喷射氦气，根据仪器的变化情况分析判断漏点的大小，工作人员进行逐一记录。

铂的离子发射现象被设置在一个探头中，探头是一支二极电子管结构，加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管，后部安装吸气风扇，使用时不断吸进气体，工作时二极管的阳极由灯丝加热到850～950℃，阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子，离子电流由电子电路放大后，用仪表指示，考虑到检漏时无暇观察仪表指示，仪表还设有扬声器，当探出漏孔时，仪器便发出声音。其性质为有限责任公司，公司是自主经营，***核算，自负盈亏，具有***法人资格的经济实体。

真空检漏法。将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可yi位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有：静态升压法；放电管法；真空计法；氢-钯法；离子泵法；高频火花检漏法；循环水泵故障(水池水温低、入口滤网堵塞、吸入空气、水轮导叶磨损等)，会使管路整体压力下降，泵电流降低，真空下降，出水温度升高。卤素检漏法；质谱检漏法。其中离子泵检漏法是，溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低，因此，类似于电离真空计的方法，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。