真空查漏标准主机

SFJ-261型氦质谱检漏仪是借鉴国外***的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上***水平。

真空查漏标准技术参数：

小可检漏率：5×10-12Pa?m3/s漏率显示范围：启动时间：≤响应时间：＜检漏口高压力：极限真空：

一个真空系统（或容器）要求做到不漏气是不现实的，也是没有必要的，所以就要根据真空系统实际应用的具体条件，对漏率指标提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足够小，使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强，这些漏孔就是允许的。示漏气体多用氯的卤化物，如氟利昂等，其中以氟利昂***、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。真空查漏标准正常工作所能允许的做大漏气量，称ui大允许漏率，简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标，也是检漏的依据。

氦质谱检漏方法:根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。在根据设备温度的要求，采用原材料生产的MACRO1001（粘合材料）MACRO1201（柔韧材料）及1587型密封胶，按比例调和后进行封堵。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。喷吹法是用喷枪对部分喷氦气，找出漏孔的位置，但效率较低；氦室法可对大容器检漏，将部分用氦室罩上充入氦气,可以找到漏孔的大致范围,但漏孔位置不能确定。

氦质谱检漏仪的主要技术指标有：①灵敏度，又称小可检漏率，单位为帕·米3/秒；②反应时间与清除时间，单位为秒；③工作压强与极限压强，单位为帕。