洁净室亦被称为无尘室或者清净室。主要是将一定空间范围内空气中的微粒、***气体、***等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、静电噪音等控制在一定要求范围内的房屋设施。通常用于高精密器械、微电子、高纯度化学、光磁产品及生物***等对生产操作环境要求较高的应用中。
为了保持洁净室内的洁净度除了需要不断通入净化过的空气外,还需要对通风和排风(回风)的速度加以控制,并通过压力传感器对室内的压力进行测量,保持一定的正压范围。
对于洁净室来说足够的通风换气量是为了稀释和排除室内污染空气,一般来说洁净度要求较高的洁净室通风换气的频率也相对较高。但不宜过高因为通风速率过高易造成紊***生,这对洁净室是很不利的。因此,可以利用空气流量传感器对通风的速率进行检测,确保空气流速的正常。
为保证洁净室不受或少受污染,以维持设计洁净等级,使室内保持一定的正压是必不可少的条件。洁净室的正压值是指门窗全部关闭的状态下,室内静压大于室外静压的数值,从而形成一定的静压差。它主要是通过净化送风系统量大于排风量的方法达到的。洁净室的静压差可以通过微压压力传感器来进行测量,并通过空气流量传感器对通风和出风的速率进行控制,以维持静压差始终处在合适的范围之内。一般来说,不同等级的洁净室以及洁净室和非洁净室之间的静压差不应小于5Pa,洁净区与室外的静压差不应小于10Pa。主要是压差偏低则洁净室***通过窗缝污染室内的能力变差。但静压差也不是越大越好,较大的静压差就意味着需要增大通风量,势必消耗更多的能源,同时还可能造成紊流的产生及门框开闭困难。
凯拓嘉业为洁净车间提供的699系列压力传感器采用瑞士富巴开发的悬臂梁陶瓷芯片技术,其传感信号经过校准和温度补偿,特别适于空调制冷系统和实验室清洁环境的低气流量监测和精密压力测量(空气及无腐蚀性气体)。
699系列压力传感器是694系列压力传感器的改进升级系列。,采用了能减少输出偏置或共模误差的专利技术,可以显著地消除由温度、长时间漂移和位置敏感等引起的输出偏置误差。
特色:适用于空调系統 (HVAC)、无腐蚀性 / 无杂质之气体
■ 采用陶瓷杠杆技术,测量范围可调整,具零点校正钮,方便调整
■ 使用者可选择差压开根号输出,现场显示或无现场显示
■ 差压开根号输出(测量风量用,需配合平均风速测管AFMT)
■ 699系列压力传感器是694系列压力传感器的改进升级系列
新功能
***显著的新功能是客户可调节参数。客户可以对参数的调节范围进行设置,这种功能具有强大的逻辑优点。可使用pushbutton调节零点。任何安装位置下均可进行重置。若处于生产过程中,垂直位置下可进行参数设置。采用新型微处理器实现了附加压力范围+/- 100 Pa线形优于1% FS。
成本敏感应用领域则可选用低端压力传感器,例如不带显示器型,固定输出信号型或单一压力范围可调型。
技术参数:
压力范围 -1…1mbar/0…0.3-50mbar
测量介质 空气及中性气体
温度介质 0~70℃
环境温度 -10~70℃
储存温度 -10~70℃(无凝结)
单边过载压力 P1=100mbar,P2=4mbar(应用于过压范围)
P1=-4mbar,P2=-100mbar(应用于低压范围)
***压力 2倍过载压力
1.5倍过载压力(70℃)
材质 接液部 陶瓷Al2O3 (96%)
隔膜 Silicone
外壳 聚碳酸酯PC
防护等级 无保护盖 IP54/IP65
响应时间 < 20 ms
负载频率 < 10 Hz
常备型号:
699.911226045 30/50/100pa
699.913226045 100/300/500pa
699.915226045 500/1000/1600pa
699.917226045 1600/2500/5000pa