洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完好统计,洁净室的能耗是普通写字楼的10~3O倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而中国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2)。以上海某名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护,假设将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。因此,IC消费过程中的某些加工工序及工序问的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响废品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净室设计与施工树立的主流趋向。
***生产尽可能采用无尘技术和较少的粉尘产生设备,避免混和、交叉污染等,保证生产符合GMP规范的要求,减少粉尘,减少空调系统的排气量,节约能源。如果生产车间称重、破碎、筛分、全混合、快速造粒、一步造粒等工序产生的粉尘较大,按照一般空调的做法是将房间内的所有空气移到室外,能耗很大。在与业主协商后,称重柜在称重室使用。室内的洁净气流在中效过滤器后进入称重柜,气流通过风扇通过有效过滤器送至洁净工作台,部分气流通过有效过滤器在室内通过有效过滤器排出。由于排入房间的气流通过有效过滤器,因此认为空气流动是清洁的空气流动,不需要排风。但是,在洁净车间工程的设计和实施中,有一些细节也需要下工夫做足文章,否则很可能“千里之堤,溃于蚁穴”,花费巨大财力和精力建成的工程会因为一个风管的不合适或者人员的走动而达不到预期效果,影响产品质量。
五、多功能性
洁净车间是一个多功能的综合整休,多功能体现在以下两个方面:1、多***--建筑、空调、净化、纯水、纯气;2、多参数--空气洁净度、***浓度以及空气的风量、压力、噪声、照度。
六、保湿性能好
洁净车间强度高,隔热保温,可作天花围护布局板材承重,抗弯抗压,通常洁净室比拟少用梁柱。芯材导热系数:λlt;=0.041w/mk。
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