洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产的湿度范围为35—45%。

赛达净化坚持秉承以科技为先导、以市场为导向的科学管理理念，凭借规范化管理及***的技术力量在食品、***、化妆品、微电子等诸多工业领域设计承建了洁净SC厂房、GMP厂房、无菌室、实验室及相关配套产品。我们的宗旨：***！诚信！***！

气压规定

对于大部分洁净空间，为了防止外界污染***，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：

1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

云南赛达主要服务项目：

1、承建各种净化级别、工艺要求、平面布局的空调净化厂房、洁净无尘实验室；

2、设计、建造食品厂净化厂房，协助通过QS认证；

3、承建相对负压、高温、防火防爆、隔音消声、***灭菌、排臭、抗静电等特殊要求的净化厂房；

4、承建净化房相配套的照明、电器设施、动力、电器控制系统及空调自动控制系统；

5、承建恒温恒湿净化厂房系统、空调机房、冷冻机房；

6、承接净化厂房配套的给排水、水处理及空气处理系统；

7、承接净化空调系统工程咨询、调试、协助检测。

赛达净化坚持秉承以科技为先导、以市场为导向的科学管理理念，凭借规范化管理及***的技术力量在食品、***、化妆品、微电子等诸多工业领域设计承建了洁净SC厂房、GMP厂房、无菌室、实验室及相关配套产品。我们的宗旨：***！诚信！***！