洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高的洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,弥勒净化工程厂家,四支支柱并加装活动轮,弥勒净化工程设备,可为弹性运用。
赛达净化坚持秉承以科技为先导、以市场为导向的科学管理理念,弥勒净化工程,凭借规范化管理及***的技术力量在食品、***、化妆品、微电子等诸多工业领域设计承建了洁净SC厂房、GMP厂房、无菌室、实验室及相关配套产品。我们的宗旨:***!诚信!***!
洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
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乱流式 (Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板乱流式回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
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