净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

净化车间门窗固定缝隙（一类和三类）的处理：

　　此类缝隙查的安装缝隙不仅在每樟净化车间门窗当今相对数量较少，而且樘与洞口的结合经装修后比较隐蔽，是比较容易密封的间定缝隙。另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。棱与洞口周边连接应牢固，不仅是密闭净化车间门窗，还是一般净化车间门宙构造的要求，由于净化车间门的受力大而猛，在净化车间门程的固定中尤应注意程及其洞口周边的固定点是否牢固稳定，但对密闭净化车间门窗来说，还必须强调膛与净化车间门洞或宙桐间的缝隙中填塞密实，而后覆盖以室内和室外的墙面装修层就可基本保证这类缝隙的气密性，第二类固定缝隙即玻璃或其他芯板的安装缝隙。在一橙净化车间门的缝隙数量中相对所占比例较小，但在一膛宙的构造缝隙中却往往是主要部分，特别是对于外宙，它们暴露在大气中，受室外气候的影响，须慎重处理，一方面要尽量减少芯条玻璃安装缝隙，一方面要慎重选择设防构造。

随着我国国民经济的发展、社会的进步和人民生活水平的提高，洁净室已广泛应用于电子、生物制药、精密仪器制造等各行各业中，由于洁净室在温度、相对湿度及洁净度方面的巨大优势，它的重要性也越来越多地被人们所认识和接受。限额设计是工程建设过程中行之有效的控制方法，也是控制***规模的有效措施之一。洁净室如何预防火灾事故的发生，我们认为关键是要把好建筑防火设计这道源头关，以杜绝先天的火灾隐患的产生。

百级洁净室规划装修参数规范：

　　1. 洁净度：粒径≥0.1微米的尘土粒子数量需求小于100个。

　　2. 压差及温湿度：温度22℃±2;湿度55%±5;根本房间要满布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系统。还有保持正压，相邻房间压力梯度确保在10pa左右。

　　3. 照度：由于无尘洁净室的工作内容大多有精细的要求，而且又都是密闭性房子，所以，对照明一向有很高的要求。