种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。

工程的规划首先要加强对设计单位设计净化工程图纸质量的外部监督与审查。充分发挥洁净室图纸审查中心的职能作用，像工程质监站监督施工质量一样，审查、监督设计质量。高水平的安徽洁净车间净化生产工艺对洁净室的生产环境要求非常严格。洁净工程图纸的质量高低是关系到此洁净工程的建造成本控制等一系列净化工程重要控制目标能否达成之物。制订设计奖惩制度。设计图纸被审查中心确认为设计的应给设计单位以特殊荣誉，对设计人员实施奖励。

洁净室的基本特点

所谓洁净室是指在生产工艺上对建筑物有特殊净化要求的厂房。其基本特点为：1、多为钢筋混凝土结构，厂房多分隔为若干小间；2、常处于密闭状态，少窗少门；3、厂房内设备昂贵，怕高温、忌水；4、厂内工作人员少，不利于发现火情和处理初期火灾；5、内部结构复杂，通道曲折。另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

云南恒云净化工程有限公司承担不同要求的生产、科研及检验等领域洁净环境的设计、安装与调试及综合服务。