净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

活动缝隙（二类）的处理：

　　净化车间门宙的开启扇与框料如何搭接是净化车间门宙密封设计中的关键。3、人员进入洁净车间之前，必须做好清洁工作，更换洁净服，并经过风淋室风淋，如此方可进入。搭接处的缝隙有别于固定缝隙，因活动扇需要开启而木能采取“一劳永逸”的封固措施。相对于宙而言，净化车间门的开启扇更大，活动缝隙在一捏净化车间门的总构造缝隙数量中占有更大的比例，净化车间门扇的开启次数远较宙为频繁，而净化车间门扇周边缝隙的工作条件也比较复杂，以单扇平开净化车间门为例，沿竖向的两侧边小，装执手的一边经常受到通行时各种摩擦或碰撞，装铰链的一边则因扇的旋转而对膛的施力方向与其他三边完全不同。

净化车间空调机组相结合的空调系统是一个重要的空气处理设备,用户必须严格按照暖通空调设备施工安装规范,为了使机组能够正常运行使用,严禁安装在灰尘、腐蚀性气体、湿度大的地方。先戴好口罩，然后穿上无尘衣，更衣后头发不得外露，口罩应盖住鼻孔。在安装之前需要对安装机组的基础进行检查，提供的钢支座或混凝土基础必须要有足够的强度和刚度，能足以承受机组运行时的所有重量和振动。

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