净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
洁净车间是一个多功能的综合体,洁净车间工程是一个多学科、多领域、综合性的工程。由于洁净车间工程技术难度高,工程造价大,因此,在实施洁净工程时,一直注重洁净车间的设计。清洁车间的设计一般应遵循“三不一要”的原则。
一、不带入:不向洁净车间带入任何灰尘。
遵循这个原则,洁净车间设计时,应做好如下的工作:
1、过滤器正确安装,不会出现灰尘泄漏的情况。
2、保持洁净车间相对于室外的正压,只能让室内的污染空气出去,不能让室外的空气通过缝隙进入洁净车间。
3、人员进入洁净车间之前,必须做好清洁工作,更换洁净服,并经过风淋室风淋,如此方可进入。
4、材料与设备经清洁后方可进入洁净车间。
平开净化车间门扇的缝隙密封:
平开式密闭净化车间门是洁净厂房中选用很多的净化车间门类型,平时供通行或者运输.火灾时供紧急疏散,都很方便。
一般选用成型断面的弹性材料作为密闭条固定密封在缝处。常用净化车间门的洞口宽度,双扇内净化车间门多在1800mm以下,双扇外净化车间门多在2100mm以下;洞口高度大抵在2400mm以内。
云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装***公司。
减少系统送风量:洁净室内的送风量较之一般恒温恒湿空调房间内的送风量大很多,设法减少系统的送风速度,可有效地节省处理空气所耗用的能量,达到节能运行的目的;在满足工艺条件的前提下,将室内横断面平均风速降低20%,此时房间的送风量大约可减少20%左右,这样不仅减少了空气处理所消耗的能量,而且也减少了输送设备风机运行的耗电量。一个单独的***,虽然体积很小,但通常在大气中以菌落的形式存在,它通常与灰尘颗粒共存,为它提供食物和水。
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