FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超***过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和***供应、超纯水供应等。

云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装***公司。

集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

非工作时间采用值班风机运行，关闭系统中的送回风机。非工作时间，送风机、回风机均停止运行，为了使系统停止运行后，避免室外污染空气通过安徽车间净化的围护结构缝隙和由新风口经回风道进入安徽车间净化，***室内的洁净度而设置值班风机；值班风机的风量一般是按维持室内要求的正压值所需的换气次数来考虑的，值班风机运行中所消耗的电能和处理空气所消耗的冷、热量要比系统运行时小得多，设有值班风机的净化空调系统在非工作时，尽量使用值班风机运行，以达到更好的节能效果。