好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本很低，洁净度安全性很高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室***和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。

　改变安徽车间净化要求的温湿度基数：维持安徽车间净化达到一定的温、湿度需耗用相应的能量，提高要求的温、湿度基础可以节能能量，若空气参数要求为22℃±2℃和35%-50%相对湿度，在夏季运行中，如果安徽车间净化内空气温度控制在23℃，相对湿度控制在60%，此时净化空调系统机器露出点即可由12.2℃提高到16.5℃，如果系统处理风量按10000m3/H计，则运行中可节省处理空气的冷量消耗为36.27kWH，全天按16H计，则可节省冷量580.3kw/d。

尽量减少由于风机、电动机的温升而消耗处理空气的能量。风机在运行中，本身温度升高，电动机在运行中，电动机表面温度也升高，如果风机及电动机均设置在空气处理室内，则空调系统不仅要承担处理空气的能量，还要承担消除由于风机、电动机散热所消耗的能量；对于净化空调系统设法将电动机移至空气处理室之外，或将风机、电动机均设置在空气处理室之外，即可减少由于电动机的温升而增加处理空气的冷负荷。