FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超***过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和***供应、超纯水供应等。

云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装***公司。

外部水管路必须清洁干净后，方可与本空调机组的换热进、出水管路连接，以免将换热器管路堵死；冷水盘管一般为下进上出，蒸汽盘管一般为上进下出，按标识接管，以避免接管错误；空调机组进、出水管一般采用管螺纹连接，与机组水管路相接时，不要用力过猛，以免损坏换热器；为方便操作运行，在机组外管路上应设置放气阀与泄水阀。

空气过滤器的过滤速度较高，一般为0.1-2.5m/s。空气过滤器按过滤效率可分为初效过滤器、中效过滤器、***过滤器。***过滤器的滤材一般是超细玻璃纤维或合成纤维加工而成的滤纸，按过滤器滤芯结构分为有隔板和无隔板两类，无分隔板过滤体积小，性能较有分隔板过滤器有所提高。中净环球净可提供空气过滤器的供应安装；净化车间的咨询、规划、设计、施工、装修改造等配套服务。