好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本很低，洁净度安全性很高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室***和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。

在设计和规划净化车间时，如何以小的投入实现大的效益，一直是净化车间工程设计师非常看重的问题。净化车间设计方案的优化再优化，更多的是考虑在洁净工程成本核算的控制上，如何有效的控制洁净工程的成本呢？净化车间洁净工程设计过程至关重要。洁净室洁净度的等级，净化工程用料，空调系统，无尘室围护结构，地板工程都是影响净化工程造价，洁净室造价，净化车间造价的主要因素。洁净厂房净化工程造价应该重视源头，加强净化工程设计环节的控制：

洁净工程规范设计概算办法，确立设计概算须经过工程标准定额造价管理站和建行等个面审定，以确定的***限额作为取费基数，这样可去除人为扩大设计规模与冒算的费用。制订“限额设计”标准。限额设计是工程建设过程中行之有效的控制方法，也是控制***规模的有效措施之一。因此，尽快***有关部门，按建筑的不同类型和规模及洁净度要求，制订出适宜的限额设计标准，作为设计部门的“对照表”是设计管理工作中的一项重要任务。