净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合***送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

机组与风道连接处应设柔性接管，风管的重量不应由机组承受，连接处应进行密封及保温处理，避免漏风和凝露，机组出风口必须保证至少2倍出风口长边尺寸的直风管，弯管和变径会增大额外压损，造成风量不足。机组所有进出管路全部保温，阀门、接头保温要留出维护操作部位，如采用蒸汽盘管，在蒸汽管口处须安装疏水器，排水通畅。中净环球净化可提供净化车间、洁净厂房的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

洁净工作台可以在操作台上形成无菌、无尘的局部净化空间，其主要部件有预过滤器、***过滤器、风机机组、静压箱、外壳、台面和配套的电器元器件等。洁净工作台有足够的送风量，选择合适的气流流形和可靠的过滤装置，确保所需的空气洁净度等级；有排风装置时，应选用必要的排风处理装置或技术措施，达到不污染室内外环境的排放要求；噪声低、振动小、满足相关标准、规范的要求；操作面光滑、平整、无凹凸、防止积尘；工作台内操作面上的气流分布应均匀、可调；工作台的工作和空气洁净度以及其他特殊要求等宜采用自动控制，至少应装设必要的显示仪表显示工作台的工作状态；工作台内的过滤器应拆装方便。