集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。外部水管路必须清洁干净后，方可与本空调机组的换热进、出水管路连接，以免将换热器管路堵死。

云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装***公司。

GMP净化厂房参数：

换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000级≥30次。

压差：主车间对相邻房间≥5Pa

平均风速：10级、100级0.3-0.5m/s；

温度：冬季16℃; 夏季26℃; 波动±2℃。

湿度：45-65%; GMP粉和剂车间湿度在50%左右为宜; 电子车间湿度略高以免产生静电。

噪声：≤65dB(A);

新风补充量：是总送风量的10%-30%;

照度：300LX。

百级洁净室规划装修参数规范：

　　1. 洁净度：粒径≥0.1微米的尘土粒子数量需求小于100个。

　　2. 压差及温湿度：温度22℃±2;湿度55%±5;根本房间要满布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系统。还有保持正压，相邻房间压力梯度确保在10pa左右。

　　3. 照度：由于无尘洁净室的工作内容大多有精细的要求，而且又都是密闭性房子，所以，对照明一向有很高的要求。