无尘洁净车间工程主要的作用是控制产品所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘净化车间。
传统的无尘车间设计主要已清洁规则、墙壁、天花板、地面表面、空气流量、温度、湿度、压力控制、照明、风机过滤机组等构成。归纳后只有建筑安装和净化主机两大块,前者是属于劳务型,后者是技术型,是我国无尘车间技术持续发展的“瓶颈”。净化主机技术的创新关系到空气流量、压力控制、过滤系统、温度、湿度等一些列问题,因此没有一家企业或研究机构愿意去触及,至此形成以初中过滤器循环过滤净化的传统模式。
无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。
微电子C/R建设费可能花费到$10亿。fab能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而“钱”将成为一个很重要的考虑因素。一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致到大的损失。C/R的拥有者和设计者的能力为改变一C/R的关键,所以他们从不将一开始的设计定型。
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