洁净厂房的竣工验收合格，并经核实批准后，按要求进行功能验收，功能验收是在“静态”进行测试，其主要测试内容如下：

1 检测空气洁净度等级;

2 生产工艺有要求者，洁净室厂商，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;

3 洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;

4 检测自净时间;

5 检测洁净室(区)的密闭性测试;

6 测定照度;

7 测定噪声级;

8 需要时，确认和记录气流形式和换气次数;

9 其他需要进行的其他检测项目。

24um线性膨胀，所以必须有±0。1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

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对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，洁净室商家，而清除地板所用者大部分为消毒的***及化学***，内蒙古洁净室，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，洁净室工程，快破了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

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