橡胶同步带传动晶圆传输机械手精度分析与补偿

作者：上海汇昕传动系统厂2012/10/31 13:15:45

橡胶同步带传动晶圆传输机械手精度分析与补偿

橡胶同步带应用于晶圆传输机器人机械手的误差产生原因,针对晶圆传输机器人高速高精度的***要求,建立了含有同步带环节的误差模型。对各误差源进行了显著性分析,并在此基础上提出了结合几何误差迭代法和基于运动学逆解的非线性参数辨识的分步标定方法,对模型进行了误差标定及误差补偿。***后经过仿真分析和实验,有效的证明此方法显著地提高了机械手的末端***精度。

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