我公司和中科院宁波材料所联合研制开发了产业化CVD装备及涂层。开发的CVD装备具有有效沉积容积大，气流均匀可控，温度均匀可控的特点。开发了相应的碳化硅，氮化钛复合硬质涂层和金刚石超硬涂层，并且可以调控涂层界面，具有涂层附着力强的特点。

                                                                           上海晨鑫电炉有限公司

                                                                           来源：  www.sh-vac.com

                                                                            2014年12月30日