当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。

低温等离子体去除污染物的机理：

等离子体化学反应过程中，低温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下：

(1) 电场＋电子→高能电子

(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团

(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物 热

(4) 活性基团＋活性基团→生成物 热

当液体沿填料层向下流动时，有时会出现壁流现象，壁流效应造成气液两相在填料层中分布不均，从而使传质效率下降。因此，喷淋塔内的填料层分为两段，中间设置再分布装置，经重新分布后喷淋到下层填料上。 　循环水量的调节：由喷淋塔供水泵来决定，当运行一台锅炉时开一台即可，当冬季两台或三台同时运行时，将两台水泵全部打开，泥浆泵其流量应根据循环泵的流量来调节，使其相等即可。

过滤部分通过采用不同等级过滤器组合作用除去进转轮的大颗粒物质，使转轮对VOCs进行处理。

沸石转轮浓缩部分：沸石转轮部分依据功能分三个区，吸附区、脱附区、冷却区。驱动电机通过链条传动带动转轮旋转，通过调整转轮的转速调整沸石转轮的处理效率。吸附区将车间废气进行过滤处理，利用沸石转轮的吸附性将废气中的苯、甲1苯、二甲1苯、乙1酸乙1酯、丁1酮、异丙1醇和醚类等吸附在转轮中，达标气体经过过滤后直接排放；