随着相关技术的不断进步，不仅真空热处理设备取得了较大的发展，与其相关的配套设施也取得了长足的进步。目前我国已经能够生产各个种类的真空泵、真空阀、真空测量仪器等，甚至一些以前无法实现自主生产的配套产品也实现了自产(如炉内使用的由金属和石墨材质制成的保温层和发热元件等)，并且其性能和质量已经接近或已达到了国外同类产品的水平。相关配套产业的快速发展有效地促进了我国真空热处理水平的整体进步。


预抽真空回火炉是一种保护气氛热处理炉。真空回火炉对炉内的氧化气氛排除的方法有充气法和换气法。充气法是对炉膛连续充、放气，赶出炉内的氧化杂质气体，使炉内的气氛纯度达到要求。换气法是利用机械泵对炉内的氧化气体抽出，高速钢真空热处理，再充入保护气体，然后再抽出不纯气体，充入保护气，这样反复进行几次直到炉内气体纯度合格。高合金钢真空回火的真空度选用133MPa对应炉内的残氧量为0.132%。


真空渗碳比可控气氛炉渗碳的产品质量好，对于要控制淬火变形的齿轮渗碳，高速钢真空热处理厂，在用可控气氛炉渗碳后需要用淬火压床进行边淬火边矫正，高速钢真空热处理加工厂，其质量有时还达不到技术要求，况且渗碳层的渗层和碳浓度分布均匀性较难得到保证，经常会出现内氧化现象，高速钢真空热处理加工厂家，造成非马氏体黑色***的出现，生产率有时也会受到影响，所以对于质量要求较高的摩托车、汽车减速器、汽车发动机等部件内的中小型齿轮及齿轮轴等工件的渗碳。


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