热处理工艺一般包括加热、保温、冷却三个过程，有时只有加热和冷却两个过程。这些过程互相衔接，不可间断。

加热是热处理的重要工序之一。金属热处理的加热方法很多，较早是采用木炭和煤作为热源，进而应用液体和气体燃料。电的应用使加热易于控制，且无环境污染。利用这些热源可以直接加热，也可以通过熔融的盐或金属，以至浮动粒子进行间接加热。

金属加热时，工件暴露在空气中，常常发生氧化、脱碳(即钢铁零件表面碳含量降低)，这对于热处理后零件的表面性能有很不利的影响。因而金属通常应在可控气氛或保护气氛中、熔融盐中和真空中加热，也可用涂料或包装方法进行保护加热。

高真空烧结炉加热温度是热处理工艺的重要工艺参数之一，选择和控制加热温度,是保证热处理质量的主要问题。加热温度随被处理的金属材料和热处理的目的不同而异，但一般都是加热到相变温度以上，以获得高温***。另外转变需要一定的时间，因此当金属工件表面达到要求的加热温度时，还须在此温度保持一定时间，使内外温度一致，使显微***转变完全，这段时间称为保温时间。采用高能密度加热和表面热处理时，加热速度极快，一般就没有保温时间，而化学热处理的保温时间往往较长。

近年来，真空渗碳和碳氮共渗技术发展迅速，这种技术方法具有节能、节气、渗碳效率较高、工艺操作简便以及安全环保等优势，在机械传动和工具等行业取得了广泛的应用。但与此同时还需要注意到，渗碳后产生的炭黑***绝缘、渗层均匀性较差等问题在很大程度上制约了该技术应用水平的提高。

近年来，随着国内真空热处理工作者的长期努力，低压真空渗碳技术取得了比较大的突破，并且已经可以比较好地解决上述缺陷。低压真空渗碳技术的突破不仅可以有效减少渗碳后产生的炭黑，并且具有良好的渗层均匀性，从而有效地改善了以往应用过程中存在的问题。

随着真空热处理技术及其相关设备的发展，这几年逐步发展出了一批新技术，这些新技术反过来也推动了真空热处理在更多领域的应用。其中，真空氢气复合净化就是这些新技术中的佼佼者，它打破了以往使用氢气炉时容易受到各种外在环境制约的影响，并且还极大地提高了使用安全性。

在民用市场领域，针对该技术的研究和应用推动了我国金刚石制造技术的进步。在领域，该技术在软磁合金和电工纯铁的热处理方面发挥了重要作用，通过采用此项技术使得产品磁性能得到了明显提高，而产品矫顽力却得到了显著降低。