安装质量不好将会使压升率达不到技术要求，长期使用之后，真空炉的压升率也会增大。当真空度压升率恶化到一定程度后，处理零件的表面质量下降，加热元件的使用寿命会明显降低，这是需要对炉子检漏，并排除漏气原因。检漏及排除漏气因素的目的就是使漏气率达到技术条件要求。1）由于存在漏孔产生的漏气；2）由渗透产生的漏气；渗透式指气体不是通过固体中的漏孔方式漏气的现象，而是气体吸附在固体的高压一侧表面上，然后沿浓度梯度向固体低压的一侧扩散。在真空炉中的金属、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以渗透气体的。

从曲线中可见，在抽气过程中，开始真空炉的压力降低很快，之后达到稳定，关闭真空阀门之后，炉内的压力值变化可以用曲线表示。

真空双室油淬炉中使用的热电偶由于长期正负压的交替作用，其外壳金属管会释放氧化粉尘，被热电偶内的磁管微孔吸收，白色的磁管变成***或黑色，造成真空炉中热电偶瓷管会产生导电现象，在做热电偶的维修时，应该经常检查磁管的色泽和使用万用表检测磁管导电性，发生这种现象应该更换热处理磁管。

1、完全消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳，可获得无变质层的清洁表面。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具（如麻花钻磨削后使沟槽表面的脱碳层直接暴露于刃口、切削性能的改善关系极大。

2、对环境无污染，不需进行三废处理。

3、炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5°c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用稀薄气体强制循环，仍可控制在±5°c温差范围内。

真空渗碳比可控气氛炉渗碳的产品质量好，对于要控制淬火变形的齿轮渗碳，在用可控气氛炉渗碳后需要用淬火压床进行边淬火边矫正，其质量有时还达不到技术要求，况且渗碳层的渗层和碳浓度分布均匀性较难得到保证，经常会出现内氧化现象，造成非马氏体黑色***的出现，生产率有时也会受到影响，所以对于质量要求较高的摩托车、汽车减速器、汽车发动机等部件内的中小型齿轮及齿轮轴等工件的渗碳。