安装质量不好将会使压升率达不到技术要求，长期使用之后，真空炉的压升率也会增大。当真空度压升率恶化到一定程度后，处理零件的表面质量下降，加热元件的使用寿命会明显降低，这是需要对炉子检漏，并排除漏气原因。检漏及排除漏气因素的目的就是使漏气率达到技术条件要求。1）由于存在漏孔产生的漏气；2）由渗透产生的漏气；渗透式指气体不是通过固体中的漏孔方式漏气的现象，而是气体吸附在固体的高压一侧表面上，然后沿浓度梯度向固体低压的一侧扩散。在真空炉中的金属、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以渗透气体的。

炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5°c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用稀薄气体强制循环，仍可控制在±5°c温差范围内。

机电一体化程度高。在温度测控精度提高的基础上，工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定，按步骤实施淬火和回火。

能耗显著低于盐浴炉。现代***的真空炉加热室采用隔热材料制成的隔热墙和屏障，可将电热能量高度集中于加热室内，节能效果显著。

一旦材料达到奥氏体化阶段，工人会将其放置在室温下进行冷却，冷却完成后的材料表面会形成细小的珠光体，同时材料具有较好的硬度和延展性，同时我们也可以使用这种方法来加强黑色金属材料的机械性能。

有时工厂也会使用铁素体氮碳共渗用于等级较低的金属加工，通常金属会被加热到650摄氏度左右，这时铁素体硝基渗碳会将氮和碳扩散到工件的外壳中，同时此温度下的材料微观结构不会转变为奥氏体相，并且将加热时所用的碳排出。

热量也会影响金属的电阻。金属越热，电子散射越多，从而使金属对电流的耐受性更高。加热到一定温度的金属也会失去磁性。通过将温度升高到626华氏度和2,012华氏度之间（取决于金属），磁性将消失。在特定金属中发生此温度的温度称为居里温度。

将金属部件在大约零下190摄氏度的温度下保持约一天。稍后对其进行加热回火时，金属零件的温度会升高，达到约149摄氏度。这有助于降低在热处理过程中形成马氏体时可能引起的脆性。