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膜片泵侧板组件与泵体是通过自攻螺钉连接，由于侧板组件内有气道，有水进入气道则会损坏真空泵，故需要在内外侧板中间气道外围设计密封圈，为了保证密封圈的有效性，在外侧板上设计凹槽使得密封圈受压变形受凹槽限制，保证其预压量;同时通过改进膜片的结构，使膜片外圈同时起到密封圈的作用，通过8颗自攻螺钉将外侧板、内侧板与泵体锁紧，压紧内部密封结构，保证连接时各部件的密封性。

，分子增压泵有极高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高，所以可使前级泵易于处于高流量状态；而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽负担。分子增压泵可以在100-50Pa工作，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此，机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。

复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：

涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合；

涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；

涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在10级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压强；

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。

喷射真空泵：分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类

喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。

水喷射泵是用水作为工作介质，通过高速射流来引射被抽气体，使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。

单级泵的极限压强为3.3kPa，两级串联可获得好一些的真空度，主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用，也可作为其他真空泵的前级。

真空泵按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵，喷射泵特点：

结构简单、工作稳定可靠

可抽除含有水蒸汽、粉尘的气体、气体和腐蚀性气体

抽气量大，应用广泛：冶金、化工、食品制造等领域：

缺点：抽气效率低，能量损失大：

扩散泵：以油或蒸汽作为工作介质。扩散泵不带分馏装置，油扩散泵有分馏装置