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不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成,即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度,而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组,中真空一般需要二级机组。
一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制,即前级高于某一压力,泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致***了流量连续性的要求,必然会引起真空机组不能正常工作。
真空技术的初创时期延续到电灯泡的发明。在这段时期内,在气体定律的基本原理方面,取得了重大的理论和实践的科学技术突破。如玻义耳-马里奥特,查理,盖.吕萨克,伯努利,阿佛加德罗,麦克斯韦,玻尔兹曼等人的成就。
1、玻义耳-马略特定律:在其温度保持不变时,一定质量的气体其压强和体积成反比;或者说,其压强P与它的体积V的乘积为一常量。
2、伯努利与气体分子运动论:伯努利明确地叙述了气体分子运动论,认为气体作用在容器壁上的压力,可以用大量的分子快速地来回运动来解释。
真空泵是的真空装备、从产生真空原理上分为:容积式真空泵(如液环泵,螺杆泵,罗茨泵等);动量传递式真空泵(如分子泵:喷射真空泵:扩散泵均属于此类);气体捕集式真空泵(如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等)
按照国标:GB/T 3163-97《真空技术名词术语》具体分类如下:
动量传递式真空泵:
利用高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给被抽气体或气体分子,使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。
分子泵:牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。
分子真空泵(分子泵)是1913年德国人盖德1(W. Gaede)发明的,之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。—利用了气体的外摩擦输运现象,也就是分子牵引力,所以称为牵引分子泵。
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