爱德华EH1200罗茨真空泵维修目前采用的校准系统有：分子束法校准系 统、压力衰减法校准系统、流导调制法校准系统和分流法校准系统。 图4-12所示为采用分流法和压力衰减法的极高/或超高真空校准装置，包括：极 高真空系统、超高真空系统、流量分流系统和供气系统。分流法是将已知流量气体 引入分流室，通过分流室两个流导相差很大的小孔(流导比约为100:1)分流到 极高真空校准室和超高真空校准室。在动态条件下极高真空校准室的压力p为：

4-10) p=QC(1-R)(1 Rc) 式中Q引人分流室气体流量，Pa·m/ Rn极高真空系统抽气限制孔返流 C-—极高真空系统抽气限制孔流导，m3/s; Rc—分流室分流小孔流导比(流入超高真空室小孔流导和流入极高真空室 小孔流导之比)

爱德华真空泵叶片普遍运用在旋片式真空泵转子槽内，真空泵转子以及叶片均被密封在真空泵缸体内部，采用真空泵油作为润滑介质起着增加爱德华真空泵叶片与缸体接触面积的作用下从而达到理想状态下极限真空。若爱德华真空泵叶片过短过薄，将导致真空度不足甚至导致真空泵发生严重故障。在此，建议大家在选用爱德华真空泵叶片时应找有实力、诚信经营的有公司证明的合法供应商。醉好是找一些***厂家提供此类产品！

电压的不稳定：这对对磁浮类的分子泵损伤较大。

爱德华EH1200罗茨真空泵维修前级泵的效率差：分子泵维修提醒，腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，爱德华EH1200罗茨真空泵维修，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

爱德华EH1200罗茨真空泵维修分子泵***时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。

爱德华EH1200罗茨真空泵维修轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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