爱德华真空泵油主要对真空泵起到润滑作用，它的换油工作的重要性也不可能忽视。换油五步走一定要遵守。　　

1、排放旧油　　封闭正常工作的真空泵，须在20分钟内排放旧爱德华真空泵油保证已封闭真空泵而且已确定，以防任何意外接通电源发动泵；保证真空泵通大气压。在放油塞放一个废油收集器，旋下放油塞排放旧油。　　

油流减少时：从头旋上放油塞，发动真空泵数秒，爱德华RV5真空泵维修，封闭真空泵而且确定，以防任何意外接通电源发动泵，再次旋下放油塞将残留的油排尽。保证放油塞上装置密封圈而且完好无缺，必要时，请更换密封圈，从头旋上附有密封圈的放油塞。

组合式机械真空泵维修有什么需要注意的？

对通常被称之为五片式的组合泵，其修理方法与前述一些 故障修理方法大同小异。在些例修理Z165型泵时，实际 已详述了它的修理过程，这是一种油浸式组合泵，还有一种油封式，修理方法亦相似。

例如：有一台爱德华E2M275型组合泵，在使用两年以后，发现极限真空度下降，需要修理。 先按组合泵拆装步骤拆下清洗：拆去端盖，拿出转子和旋 片，用清洗去除杂质，凉干后，测量部件的尺寸公差，以 检査磨损情况。通常，旋片磨损厉害，测量时，若发现其平面 或端面磨损虽多，并不超出公差之外，则可仅从事去毛刺工作 若超出公差较多，则应换新旋片。

爱德华RV5真空泵维修目前采用的校准系统有：分子束法校准系 统、压力衰减法校准系统、流导调制法校准系统和分流法校准系统。 图4-12所示为采用分流法和压力衰减法的极高/或超高真空校准装置，包括：极 高真空系统、超高真空系统、流量分流系统和供气系统。分流法是将已知流量气体 引入分流室，通过分流室两个流导相差很大的小孔(流导比约为100:1)分流到 极高真空校准室和超高真空校准室。在动态条件下极高真空校准室的压力p为：

4-10) p=QC(1-R)(1 Rc) 式中Q引人分流室气体流量，Pa·m/ Rn极高真空系统抽气限制孔返流 C-—极高真空系统抽气限制孔流导，m3/s; Rc—分流室分流小孔流导比(流入超高真空室小孔流导和流入极高真空室 小孔流导之比)

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