诚合真空设备-爱德华GV250真空泵维修
作者:诚合真空设备2020/7/25 18:03:08





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4-10) p=QC(1-R)(1 Rc) 式中Q引人分流室气体流量,Pa·m/ Rn极高真空系统抽气限制孔返流 C-—极高真空系统抽气限制孔流导,m3/s; Rc—分流室分流小孔流导比(流入超高真空室小孔流导和流入极高真空室 小孔流导之比)





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