普旭真空泵的工作原理：

　　普旭真空泵是按照叶片是原理工作的，圆的转子处于泵轴中心，电机通过弹性联轴器驱动真空泵轴。转子在圆形固定泵体内旋转，泵体中心线偏离转子轴线，直至转子与泵体内壁几乎形成线性接触。叶片沿着转子的叶片槽滑动，将泵体和转自之间的空间分隔成数个工作腔。随时有气体被吸入和排出，因此真空泵几乎无间断排气。

　　为了避免吸入固体颗粒，真空泵在进气处安装了进气滤网

　　为了避免关闭电源后，叶片逆向旋转，真空泵安装了止回阀

　　注意：此阀不能作为真空系统止回阀或切断阀使用，而且关闭真空泵后，此阀不能用来防止油被吸入真空系统内。

　　如果真空泵配有气镇阀，少量空气通过气镇阀进入真空泵腔体内，普旭COBRAN***00B螺杆真空泵维修，连同工艺气体一起被压缩，这样，可防止真空泵内工艺气体中可凝气体成分的冷凝；如果气镇阀配有球阀，为了提高真空泵工作特性，在真空泵腔体出口处安装了排气阀。

真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如***管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：

(1)电机烧坏。主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。

涡轮分子真空泵普旭（Busch）涡轮分子真空泵 TM 1100-2200 A 采用涡轮机工作原理。快速旋转的涡轮叶片在定子叶片之间转动。Turbo这种转动将动能传至真空泵内无序的气体颗粒，进而将气体分子从进气口通过压缩传送至真空泵的排气口。

扩散真空泵RanguRangu 扩散真空泵的基本组件是一个圆柱形泵和可加热底部。可加热的油作为泵的工作液。油蒸汽上升进入喷嘴系统，经过几道蒸汽流阶段后在高压下排出系统。工业废气中的分子被这些蒸汽流捕获下移，流向前级泵出口。油蒸汽在水冷式泵机组内凝结，直接返回机组底部。借助其多阶段、创新的喷嘴理念，Rangu 扩散真空泵可以提供极高且稳定的抽速。

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