爱德华RV5真空泵维修目前采用的校准系统有：分子束法校准系 统、压力衰减法校准系统、流导调制法校准系统和分流法校准系统。 图4-12所示为采用分流法和压力衰减法的极高/或超高真空校准装置，包括：极 高真空系统、超高真空系统、流量分流系统和供气系统。分流法是将已知流量气体 引入分流室，通过分流室两个流导相差很大的小孔(流导比约为100:1)分流到 极高真空校准室和超高真空校准室。在动态条件下极高真空校准室的压力p为：

4-10) p=QC(1-R)(1 Rc) 式中Q引人分流室气体流量，Pa·m/ Rn极高真空系统抽气限制孔返流 C-—极高真空系统抽气限制孔流导，m3/s; Rc—分流室分流小孔流导比(流入超高真空室小孔流导和流入极高真空室 小孔流导之比)

组合式机械真空泵维修有什么需要注意的？

对通常被称之为五片式的组合泵，其修理方法与前述一些 故障修理方法大同小异。在些例修理Z165型泵时，实际 已详述了它的修理过程，这是一种油浸式组合泵，还有一种油封式，修理方法亦相似。

例如：有一台爱德华E2M275型组合泵，在使用两年以后，发现极限真空度下降，需要修理。 先按组合泵拆装步骤拆下清洗：拆去端盖，拿出转子和旋 片，用清洗去除杂质，凉干后，测量部件的尺寸公差，以 检査磨损情况。通常，旋片磨损厉害，测量时，若发现其平面 或端面磨损虽多，爱德华RV5真空泵维修，并不超出公差之外，则可仅从事去毛刺工作 若超出公差较多，则应换新旋片。

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换油方法如下：将泵从系统上拆下，用千净的方盘接在放 油孔下，爱德华RV5真空泵维修公司，旋油塞和放油塞，放出污油，断续启动电机4~6 次，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净 的真空泵油200~300CC，爱德华RV5真空泵维修报价，断续启动电动机，再次清洗各真空室。 这样，爱德华RV5真空泵维修电话，经2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞，从注 油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞 不使漏气。

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