精密加工方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备和的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台***精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

零件的热处理：

1、经调质处理，HRC50～55。

2、中碳钢：45 或40Cr 零件进行高频淬火，350～370℃回火，HR***0～45。

3、渗碳深度0.3mm。

4、进行高温时效处理。

精密机械零件力学性能的检查

根据机械检修的特点，除了对零件材料的力学性能中的硬度一项进行检查外，其它指标一般不作检查，但对零件制造和检修过程中所碰上的某些性能，如平衡状况、弹簧刚度等，就不可忽视了。

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精密机械加工零件五种清洗方法

(1)擦洗。将零件放入装有柴油、煤油或其他清洗液的容器中，用棉纱擦洗或用毛刷刷洗。这种方法操作简便、设备简单，但效率低，适用于单件小批小型零件。一般情况下不宜用，因其有性，会损害人的健康且易造成火灾。

(2)煮洗。将配置好的溶液和被清洗的零件一起放入用钢板焊制尺寸适当的清洗池中，用池下炉灶将其加温至80~90　℃，煮洗3~5　min即可。

(3)喷洗。将具有一定压力和温度的清洗液喷射到零件表面以清除油污。此方法清洗效果好，生产，但设备复杂，适于清洗形状不太复杂、表面有严重油垢的零件。

(4)振动清洗。将待清洗的零件放在振动清洗机的清洗篮或清洗架上，并浸没在清洗液中，通过清洗机产生振动模拟人工漂涮动作和清洗液的化学作用去除油污。

(5)超声清洗。靠清洗液的化学作用与引入清洗液中的超声波振荡共同作用，以去除油污。