超精密加工发展策略我国精密和超精密加工经过数十年的努力，日趋成熟。不论是精密机床、金刚石工具，还是精密加工工艺已形成了一整套完整的精密制造技术系统，为推动机械制造向更高层次发展奠定了基础。正在向纳米级精度或毫微米精度迈进，其前景十分令人鼓舞。随着科学技术的飞速发展和市场竞争日益激烈?越来越多的制造业开始将大量的人力、财力和物力投入***的制造技术和***的制造模式的研究和实施策略之中。

精密加工方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备和的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台***精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

机械零件加工的精度主要体现在尺寸精度，几何形状精度以及相互位置精度这几个方面，在几何形状精度中包含了圆度，直线度和平面度等等，相互位置精度包括平行度、垂直度以及同轴度等。

1、尺寸精度：主要有试切法、调整法、定尺寸法以及自动控制法等。

2、几何形状精度：主要有轨迹法、成型法以及展成法等。

3、相互位置精度：主要有直接安装法、找正安装法以及夹具安装法等。

精密机械零件加工的主要工艺

①精车和精镗：飞行器大多数精密的轻合金(铝或镁合金等)零件多采用这种方法加工。一般用天然单晶金刚石刀具,刀刃圆弧半径小于0.1微米。在车床上加工可获得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度,坐标精度可达±2微米。

②精铣：用于加工形状复杂的铝或铍合金结构件。依靠机床的导轨和主轴的精度来获得较高的相互位置精度。使用经仔细研磨的金刚石刀头进行高速铣切可获得镜面。