精密加工方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，数控铣床加工厂，仍有赖于精密的加工设备和的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台***精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

精密机械零件加工的主要工艺

①精车和精镗：飞行器大多数精密的轻合金(铝或镁合金等)零件多采用这种方法加工。一般用天然单晶金刚石刀具，数控铣床加工定做，刀刃圆弧半径小于0.1微米。在车床上加工可获得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度，数控铣床加工，坐标精度可达±2微米。

②精铣：用于加工形状复杂的铝或铍合金结构件。依靠机床的导轨和主轴的精度来获得较高的相互位置精度。使用经仔细研磨的金刚石刀头进行高速铣切可获得镜面。

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应用CNC零件加工中心的空运转功用能够检查走刀轨迹的正确性。当程序输入CNC零件加工中心后，能够装上刀具或工件，然后按下空运转按钮，此时主轴不转，工作台按程序轨迹自动运转，此时便能够发现刀具能否有可能与工件或夹具相碰。但是，在这种状况下必需要保证装有工件时，不能装刀具;装刀具时，就不能装工件，否则会发作碰撞。

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